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设施设备

布鲁克AFM原子力显微镜

牛津ICP刻蚀机(两台,一台刻蚀氮化物,一台刻蚀硅基)

MA6手动光刻机

日本SAMCO RIE刻蚀机

日立SEM扫描电镜

布鲁克台阶仪

科特莱思科电子束蒸发

科特莱思科磁控溅射

高能脉冲激光微区光谱

时间分辨光致荧光光谱系统



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